Batch Fabrication of Silicon Indenter Tips for adhesion investigations using Deep Reactive Ion Etching (DRIE)
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2022 |
| Autoren | S. Raumel, M. Wurz, F. Dencker |
| Veröffentlicht in | Nanobrücken 2022 - Nanomechanical Testing Conference |
