Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
| Kategorien |
Verschiedenes |
| Jahr | 2021 |
| Autorinnen/Autoren | L. Steinhoff |
| Veröffentlicht in | phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021 |
Beschreibung
Ein Informationstext über die Entwicklung eines Beschichtungsverfahrens für Aluminiumnitrid als Dünnfilm und deren möglichen Einsatzbereiche.
