Entwicklung einer Polyimidmembran für elektromagnetische Mittelohr-Aktoren
Kategorien |
Konferenz |
Jahr | 2021 |
Autoren | A. Glukhovskoy, E. Müller, M. Prediger, H. Maier, M.C. Wurz |
Veröffentlicht in | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |