Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen

Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen

Kategorien Konferenz
Jahr 2021
Autoren M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2021