Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Verfahren und Einrichtung zum fügen von Strukturen auf einem Substrat sowie Anordnung umfassend solcher gefügten Strukturen

Verfahren und Einrichtung zum fügen von Strukturen auf einem Substrat sowie Anordnung umfassend solcher gefügten Strukturen

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autorinnen/Autoren L. Rissing, M. Akin
Veröffentlicht in Verfahren und Einrichtung zum fügen von Strukturen auf einem Substrat sowie Anordnung umfassend solcher gefügten Strukturen