Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor

Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2021
Autoren A. Glukhovskoy, M. Prediger, J. Schäfer, N. Ambrosius, A. Vogt, R. Santos, R. Ostholt, M. C. Wurz
Veröffentlicht in 2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
DOI DOI 10.1109/ECTC32696.2021.00248