Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2021 |
| Autoren | R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz |
| Veröffentlicht in | NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium |
