Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Optical Platform for Highly Precise Optical Components

Optical Platform for Highly Precise Optical Components

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2020
Autoren S. Bengsch, E. C. Fischer, S. de Wall, T. Schelm, M. Arndt, M. C. Wurz
Veröffentlicht in IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
DOI 10.1109/ECTC32862.2020.00341