Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Optical Platform for Highly Precise Optical Components

Optical Platform for Highly Precise Optical Components

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2020
Autorinnen/Autoren S. Bengsch, E. C. Fischer, S. de Wall, T. Schelm, M. Arndt, M. C. Wurz
Veröffentlicht in IEEE 70th Electronic Comp. and Techn. Conf. (ECTC)
DOI 10.1109/ECTC32862.2020.00341