Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Entwicklung eines elektromagnetischen Antriebsssystems für einen optischen Mikroschalter unter besonderer Berücksichtigung von Fertigungstechniken und ihrer Weiterentwicklung

Kategorien Doktorarbeiten
Jahr 2004
Autoren Kohlmeier, Thomas