Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Slicing Induced ABS Cambering in Thin Film Picosliders

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 1998
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach, H. Siekmann, J. Zeadan
Veröffentlicht in IEEE Trans. on Magn., Vol. 35, No. 5, pp. 2427-2429