Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 1998 |
| Autoren | T. Hellmold, L.P. Ruhbach, J. Zeadan, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Proc. ASPE Spring Topical Meet. 1998, Monterey, CA, USA |
