ForschungPublikationen
Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts

Ductile Mode Cutting of Silicon Microparts

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1998
Autoren T. Hellmold, L.P. Ruhbach, J. Zeadan, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. ASPE Spring Topical Meet. 1998, Monterey, CA, USA