Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

White Light Interferometry and Atomic Force Microscopy Grinding Tool Topography Measurements - A Comparison

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1997
Autoren H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, L.P. Ruhbach
Veröffentlicht in Proc. 4th Int. Conf. on Ultraprecision in Manufacturing Engineering 1997, Braunschweig, Germany