ForschungPublikationen
Applying Scanning Probe Microscopy to Ultraprecision-Machining

Applying Scanning Probe Microscopy to Ultraprecision-Machining

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1997
Autoren H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann
Veröffentlicht in Proc. european Workshop on Microtechnology and Scanning Probe Microscopy 1997, Mainz