Applying Scanning Probe Microscopy to Ultraprecision-Machining
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 1997 |
Autoren | H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann |
Veröffentlicht in | Proc. european Workshop on Microtechnology and Scanning Probe Microscopy 1997, Mainz |