Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Atom Chip technology for use under UHV conditions

Nanogrinding

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 1996
Autoren H.H. Gatzen, J.C. Mätzig
Veröffentlicht in Proc. ASPE 11th Ann. Meet. 1996, Monterey, California, USA, and J. of the American Society for Precision Engineering, Vol. 21, pp. 134-139