Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

A Novel Flying Height Measurement Approach for Optical Sliders

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren B. Ma, C. Morsbach, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in IEEE Proc. of AsiaSENSE 2003, Kuala Lumpur, Malaysia, pp. 29-32