Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Precision Profile Grinding of High Aspect Ratio Microstructures

Precision Profile Grinding of High Aspect Ratio Microstructures

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in Proc. euspen Int. Top. Conf. 2003, Aachen, Germany, pp. 349-352