Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Precision Profile Grinding of High Aspect Ratio Microstructures

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in Proc. euspen Int. Top. Conf. 2003, Aachen, Germany, pp. 349-352