Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
A Study on Determining of the Current and Future Need for Specialists in High Technology Industries

Optimization of Chemical Mechanical Polishing of Thin Silicon Wafers

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren H.H. Gatzen, G. Günzel
Veröffentlicht in Proc. euspen Int. Top. Conf. 2003, Aachen, Germany, Vol. 1, pp. 293-296