Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Investigations on the Friction Force Anisotropy of the Silicon Lattice

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2003
Autoren H.H. Gatzen, M. Beck
Veröffentlicht in Wear, Vol. 254, No. 11, pp. 1122-1126