ForschungPublikationen
Mechanical Micromachining of High Aspect Ratio Microstructures

Mechanical Micromachining of High Aspect Ratio Microstructures

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach, A. Karyazin
Veröffentlicht in Proc. ASPE 2002, 17th Ann. Meet. 2002, St. Louis, Missouri, USA, pp. 562-566