Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Mechanical Micromachining of High Aspect Ratio Microstructures

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach, A. Karyazin
Veröffentlicht in Proc. ASPE 2002, 17th Ann. Meet. 2002, St. Louis, Missouri, USA, pp. 562-566