Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Atom Chip technology for use under UHV conditions

Entwicklung eines Wegmesssensors zur Überwachung eines Mikropositionierers

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 47th Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 2002, Ilmenau, S. 673-674