Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Investigations on the Pole Geometry Optimization of a Variable Reluctance Microactuator

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2002
Autoren M. Föhse, J. Edler, H.D. Stölting, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloqium, Ilmenau, Germany, pp. 215-216