Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Messen in anderen Dimensionen - Entwicklung, Fertigung und Erprobung eines induktiven Miniatur-Abstandssensors

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2002
Autoren C. Morsbach, R. Golloch, U. Kessen, G.P. Merker, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in F&M Messtechnik, Carl Hanser, Munich, Vol. 110, No. 5, pp. 36-40