Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Minimierung der Schnittbreite beim Trennschleifen von Wafern

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2002
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in 60. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan-Verlag, Essen, pp. 301-309