ForschungPublikationen
A Linear Microactuator with Enhanced Design

A Linear Microactuator with Enhanced Design

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2002
Autoren J. Edler, M. Föhse, H.D. Stölting, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 7, No.5-6, pp. 261-264