ForschungPublikationen
Patterned Sputter Deposited SmCo-Films for MEMS Applications

Patterned Sputter Deposited SmCo-Films for MEMS Applications

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2002
Autoren T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Journal of Magnetism and Magn. Mat., Vol. 242-245