Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Challenges in Using Photosensitive Embedding Material to Planarize Multi-layer Coils for Actuator Systems

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2002
Autoren T. Kohlmeier, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Journal of Magnetism and Magn. Mat., Vol. 242-245, pp. 1149-1152