Challenges in Using Photosensitive Embedding Material to Planarize Multi-layer Coils for Actuator Systems
Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
Jahr | 2002 |
Autoren | T. Kohlmeier, H.H. Gatzen |
Veröffentlicht in | Journal of Magnetism and Magn. Mat., Vol. 242-245, pp. 1149-1152 |