Thinfilm Technologies to Fabricate a Linear Microactuator
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
| Jahr | 2001 |
| Autoren | M. Föhse, T. Kohlmeier, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Sensors and Actuators A91, No. 1-2, pp. 145-149 |
