Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Metall-Kapillardruckgießen: ein neues Urformverfahren für die Mikromechanik (Metal Capillary Casting, a New Micromechanical Technology)

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2000
Autoren W. Bach, K. Möhwald, H.H. Gatzen, C. Morsbach
Veröffentlicht in 7. Werkstoffwissenschaftliches Kolloquium, Innovative Werkstofftechnologie 1999, Aachen, Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe, Band 41, S. 67-73