Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Technological Challenges in Ultraprecision Grinding of Flexural Microsensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autoren H.H. Gatzen, M. Beck, J. Zeadan
Veröffentlicht in Proc. euspen 1st Int. Conf. 1999, Bremen, Germany, Vol. 1, pp. 538-541