Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Kerf Sidewall Phenomena in Slicing Processes of Thin Film Heads

Kerf Sidewall Phenomena in Slicing Processes of Thin Film Heads

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autoren H.H. Gatzen, J. Zeadan, G. Jones
Veröffentlicht in Proc. euspen 1st Int. Conf. 1999, Bremen, pp. 548-461