Mikrostrukturierung durch Schleifen
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 2003 |
Autoren | H.-W. Hoffmeister, M. Hlavac, H.H. Gatzen, C. Morsbach |
Veröffentlicht in | Mikromechanische Produktionstechnik, Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1012. Shaker, Aachen, S. 39-54 |