Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Atom Chip technology for use under UHV conditions

Baukasten multifunktionaler Mikrosensoren für Messaufgaben in der Fertigungstechnik

Kategorien Berichte
Jahr 2006
Autoren S. Hansen, M.C. Wurz, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in wt Werkzeugtechnik online, Jahrgang 96, H. 11/12, S. 866-870