Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Development and Evaluation of an Active Magnetic Guide for Microsystems with an Integrated Air Gap Measurement System

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2007
Autoren C. Ruffert, J. Li, B. Denkena, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in IEEE Trans. on Magn., Vol. 43, No. 6, pp. 2716-2718