ForschungPublikationen
Fabrication of Functional Components forEelectromagnetic Microactuators

Fabrication of Functional Components forEelectromagnetic Microactuators

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2006
Autoren C. Ruffert, M. Feldmann, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol. 12, No.7, pp. 670-675