Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Ausbildung von Fachkräften für die Mikrosystemtechnik

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2005
Autoren C. Ruffert, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik, Begleitband zum Kongress 2005, Freiburg, VDE Verlag, Berlin, S. 877-880