Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Thin Film Inductive Micropositioning Sensor

Thin Film Inductive Micropositioning Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2005
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. XIX Eurosensors Conf., Barcelona, Spain, Vol. II (W), pp. WPb25