Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Thin Film Inductive Micropositioning Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2005
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. XIX Eurosensors Conf., Barcelona, Spain, Vol. II (W), pp. WPb25