Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Modeling CMP - Investigation of the Mechanical Removal Mechanism

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2005
Autoren S. Cvetkovic, K.-H. Wu, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. ASPE 20th Ann. Meet. 2005, Norfolk, Virginia, USA, pp. 500-503