Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Microfabricated Inductive Micropositioning Sensor for Measurement of a Linear Movement

Microfabricated Inductive Micropositioning Sensor for Measurement of a Linear Movement

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2006
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in IEEE Sensors Journal, Vol. 6, No. 6, pp. 1482-1487