Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2005
Autoren M. Bedenbecker, R. Bandorf, H. Lüthje, G. Bräuer, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Germany, S. 285-293, ISBN3-86130-999-8