Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Tribologie von MEMS-Komponenten

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2005
Autoren R. Bandorf, R. Küster, C. Henke, H. Lüthje, J.-H. Sick, C. Neumeister, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen, G. Bräuer
Veröffentlicht in SFB-Kolloquium, Mainz Verlag Aachen, Deutschland, S. 225-232, ISBN3-86130-999-8