Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

A Business Process Model for MEMS

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2005
Autoren C. Neumeister, S. Walsh, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in 14th Int. Ass. for Manag. of Tech. IAMOT 2005, Vienna, Austria