Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Microfabricated Inductive Linear Micro Positioning Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2004
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 3rd IEEE Int. Conf. on sensors, IEEE Sensors 2004, Vienna, Austria, ISBN 0-7803-8692-2