Chemisch-Mechanisches Polieren von Wafern für Mikrosysteme
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2004 |
| Autoren | H.H. Gatzen, C. Morsbach, C. Kourouklis |
| Veröffentlicht in | 61. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, pp. 317-329 |
