Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
A Study on Determining of the Current and Future Need for Specialists in High Technology Industries

Chemisch-Mechanisches Polieren von Wafern für Mikrosysteme

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2004
Autoren H.H. Gatzen, C. Morsbach, C. Kourouklis
Veröffentlicht in 61. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, pp. 317-329