ForschungPublikationen
An Investigation on Technologies to Fabricate Microcoils for Miniaturized Actuator Systems

An Investigation on Technologies to Fabricate Microcoils for Miniaturized Actuator Systems

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2004
Autoren T. Kohlmeier, V. Seidemann, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin Heidelberg New York, Vol.10, No. 3, pp.175-185