ForschungPublikationen
High Aspect Ratio Spiral and Meander Micro Coils for Actuator Applications

High Aspect Ratio Spiral and Meander Micro Coils for Actuator Applications

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2004
Autoren S. Seidemann, T. Kohlmeier, M. Föhse, H.H. Gatzen, S. Büttgenbach
Veröffentlicht in HARMST 2003, Monterey, CA, USA, Microsystem Technologies Vol. 10, No. 6-7, pp. 564-567